Borcarbid-Ziel: speziell für PVD

Filmeigenschaften

Borcarbid-Dünnschichten erreichen eine Härte von 30–40 GPa (ca. 3000–4000 HV) und zählen damit zu den härtesten bekannten Materialien. Dies verbessert die Verschleiß- und Kratzfestigkeit von Geräteoberflächen erheblich. Das Material weist eine extrem hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren und Basen auf und behält insbesondere bei hohen Temperaturen seine gute chemische Inertheit. Borcarbid besitzt eine geringe Dichte (ca. 2,52 g/cm³), aber einen extrem hohen Elastizitätsmodul. Dadurch eignet es sich für leichte Schutzanwendungen, bei denen geringes Gewicht eine wichtige Rolle spielt.

Hocheffiziente Sputterleistung

Hochdichte Targets (≥ 98 % der theoretischen Dichte) werden durch Heißpressen (HP) oder heißisostatisches Pressen (HIP) hergestellt. Diese Verfahren reduzieren Partikelspritzer und Rissbildung während des Sputterprozesses. Obwohl die Leitfähigkeit relativ gering ist (wodurch Hochfrequenz-Sputtern erforderlich ist), ist das Verfahren ausgereift und liefert gleichmäßige Dünnschichten mit guter Haftung.

Besondere funktionelle Eigenschaften

Das Element Bor besitzt einen hohen Absorptionsquerschnitt für thermische Neutronen (600 Barn) und eignet sich daher ideal für Steuerstäbe in Kernreaktoren und als Abschirmmaterial. Mit einem Schmelzpunkt von bis zu 2450 °C behält es seine strukturelle Stabilität und Leistungsfähigkeit auch in Hochtemperaturumgebungen. Sein niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient ermöglicht es ihm, drastischen Temperaturänderungen ohne Rissbildung standzuhalten.

Nuklearindustrie und Strahlenschutz