Eisen-Kobalt-Tantal-Legierung FeCoTa

Die Eisen-Kobalt-Tantal-Legierung besteht aus Eisen, Kobalt und Tantal. Das Target ist üblicherweise rund und dient als wichtiges weichmagnetisches Schichtmaterial für vertikale magnetische Aufzeichnungsmedien. Aufgrund des hohen Tantalanteils kommt es während der Erstarrung zu Entmischungen, was die Abscheidung eines Films mit homogener Zusammensetzung erschwert. Um ein Legierungstarget mit feinem Korn und gleichmäßiger Zusammensetzung zu erhalten, wird ein spezielles Schnellkühlverfahren angewendet. Zur Gewährleistung der Materialreinheit und Reduzierung von Einschlüssen kommen hochreine, stabile Tiegel und Hochvakuum-Schmelztechnologie zum Einsatz. Dies verbessert die mechanischen Eigenschaften des Materials und verhindert Risse im Target während des Gebrauchs.