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SiC-Mahlkugeln: Kritische Komponenten für vielfältige Branchenanwendungen
Mechanische Eigenschaften
Extremale Umweltstabilität
Extrem hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Die Mohs-Härte beträgt ≥ 9,5 und ist damit die zweithöchste nach Diamant. Sie ist deutlich besser als die von Metallen und Oxidkeramiken (wie Zirkonoxid und Aluminiumoxid), und die Verschleißrate ist unter extremen Reibungsbedingungen extrem niedrig.
Hohe Druckfestigkeit: Es hält Druckspannungen von >2,5 GPa stand und verformt oder zerbricht auch bei hohen Geschwindigkeiten und hohem Druck nicht so leicht.
Extremale Umweltstabilität
Hohe Temperaturbeständigkeit: Hält Temperaturen von über 1600 °C in inerter Atmosphäre stand und ist bis zu 1400 °C in oxidierender Atmosphäre stabil, womit die Beständigkeit von Metalllagerwerkstoffen weit übertroffen wird.
Chemische Inertheit: beständig gegen starke Säuren (mit Ausnahme von Fluorwasserstoffsäure), starke Laugen, geschmolzene Metalle und stark korrosive Medien; die Lebensdauer ist mehr als 10-mal so hoch wie die von Edelstahlkugeln.
Ausgezeichnete Temperaturhomogenität in der Ebene: Effiziente Wärmeübertragung in Kombination mit Konstruktionsmerkmalen wie der dorsalen Heliumkühlung gewährleistet, dass die Temperaturhomogenität der Waferoberfläche den Anforderungen fortschrittlicher Prozesse gerecht wird.
Elektromagnetismus und besondere Eigenschaften
Halbleitereigenschaften: Leitfähige/isolierende Typen können an die Bedürfnisse statisch empfindlicher Umgebungen angepasst werden.
Strahlungsbeständigkeit: Beständig gegen hochenergetische Teilchenstrahlung, geeignet für die Nuklearindustrie und Weltraumausrüstung.
Hightech-Industrieausrüstung
Halbleiter und Präzisionsfertigung
Angewendet auf die Kugelgelenke von Vakuumroboterarmen, die Antriebskugeln von PVD/CVD-Anlagen und die Kugeln in Wafer-Transferführungsschienen, wird durch die Nutzung der chemischen Inertheit und der Beständigkeit gegenüber Plasmaerosion eine geringe Partikelfreisetzung (Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,01 μm) unter ultrareinen Bedingungen gewährleistet und Probleme der Dünnschichtkontamination und des Übertragungsgenauigkeitsfehlers in der Halbleiterfertigung angegangen;
In Anwendungsbereichen wie korrosionsbeständigen Kugelkernen von Pumpenventilen und Dichtungskugeln von Brennstoffzellen widersteht es der Korrosion durch starke Säuren/Basen/Hochtemperaturmedien und beseitigt somit vollständig das Risiko eines Dichtungsversagens in Chemie- und Energieanlagen.
SiC-Kugeln ersetzen Metallkugeln in Hochgeschwindigkeitsspindellagern, Turbomolekularpumpenlagern und Präzisionsinstrumentenführungen und verlängern die Lebensdauer der Komponenten um das 3- bis 5-fache durch ultrahohe Härte (Mohs-Härte ≥ 9,5) und hohe Temperaturbeständigkeit (> 1600 °C), wodurch ein wartungsfreier Betrieb in Hochtemperatur-/Vakuumumgebungen erreicht wird.
Gleichzeitig weist es als Schleifmittel für hochharte Werkstoffe (wie Wolframcarbid und Saphir) nur eine Verschleißrate von 1/5 im Vergleich zu Zirkonoxidkugeln auf, was die Bearbeitungseffizienz und -genauigkeit deutlich verbessert.
Gleichzeitig weist es als Schleifmittel für hochharte Werkstoffe (wie Wolframcarbid und Saphir) nur eine Verschleißrate von 1/5 im Vergleich zu Zirkonoxidkugeln auf, was die Bearbeitungseffizienz und -genauigkeit deutlich verbessert.
Angewendet auf die Kugelgelenke von Vakuumroboterarmen, die Antriebskugeln von PVD/CVD-Anlagen und die Kugeln in Wafer-Transferführungsschienen, wird durch die Nutzung der chemischen Inertheit und der Beständigkeit gegenüber Plasmaerosion eine geringe Partikelfreisetzung (Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,01 μm) unter ultrareinen Bedingungen gewährleistet und Probleme der Dünnschichtkontamination und des Übertragungsgenauigkeitsfehlers in der Halbleiterfertigung angegangen;
In Anwendungsbereichen wie korrosionsbeständigen Kugelkernen von Pumpenventilen und Dichtungskugeln von Brennstoffzellen widersteht es der Korrosion durch starke Säuren/Basen/Hochtemperaturmedien und beseitigt somit vollständig das Risiko eines Dichtungsversagens in Chemie- und Energieanlagen.