0102030405
Alumina helburua: hainbat punta-puntako fabrikazio-eremutan aplikatua
Filmaren propietateak
Isolamendu handia: Prestatutako alumina filmak erresistentzia oso handia du (>10¹⁴ Ω·cm) eta erresistentzia dielektrikoa (~10 MV/cm), eta horrek isolamendu eta geruza dielektrikoetarako material aproposa bihurtzen du.
Gogortasun eta higadurarekiko erresistentzia handia: Filmaren gogortasun izugarri handiak (9 Mohs eskalan, diamantearen atzetik bigarrena) gailuaren gainazalaren marradura eta higadurarekiko erresistentzia nabarmen hobetu dezake.
Egonkortasun kimiko bikaina: Oso erresistentea azido, alkali eta disolbatzaile gehienekiko, korrosioarekiko erresistentzia eta tenperatura altuetan egonkortasun bikainarekin.
Sputtering eta Film Eraketa Ezaugarriak
Purutasun eta koherentzia handia: Purutasun ultra-altuak (≥% 99,9) eta konposizio-kontrol zorrotzak filmaren errendimendu egonkorra bermatzen dute eta ezpurutasunen sarrerak eragindako akats elektriko edo optikoak saihesten dituzte.
Film trinko eta uniformearen eraketa: Helburu-dentsitate altuak (≥3,6 g/cm³) eta ale-tamaina uniformeak kalitate handiko film-metaketa ahalbidetzen dute, akats gutxirekin eta lodiera-uniformetasun onarekin (% 5 ≤ homogeneotasuna).
Prozesuaren egonkortasuna: Zeramikazko egitura egonkorra da, ez da pitzatzeko edo hauts galtzeko joerarik izaten epe luzeko sputtering-ean, eta zerbitzu-bizitza luzea du.
Egonkortasun termiko bikaina: Urtze-puntua oso altua da (2054 °C), eta prestatutako filmak tenperatura altuko inguruneetan funtziona dezakete degradaziorik gabe.
Gasen bateragarritasun zabala: Prozesu-leiho zabal batekin gas geldoan (Ar), gas erreaktiboetan (O₂) edo gas nahasiko inguruneetan sputtering-a egitea.
Itsaspen ona: Itsaspen ona substratu sorta zabal bati (siliziozko obleak, beira, metalak, etab.) eta geruza funtzional edo babesle gisa erabil daiteke.
deskribapena2
Erdieroaleak eta Mikroelektronika
Atearen geruza dielektrikoa: MOSFET gailuetarako atearen isolamendu geruza gisa balio du edo κ altuko medio/metal atearen pilaketa egituretan erabiltzen da.
Zirkuitu Integratuaren Pasibazio Geruza: Al₂O₃ filma txiparen gainazalean jartzen da barne zirkuitua ingurumeneko ur-lurrunetik eta kutsadura ionikoetatik babesteko.
Film-kondentsadore dielektrikoa: MIM (metal-isolatzaile-metal) kondentsadoreak, edukiera eta egonkortasun handikoak prestatzeko erabiltzen da.
Optika eta Optoelektronika
Islatzearen aurkako estaldurak: Islatzearen aurkako film bakarra edo anitz betaurrekoetan, kamera-lenteetan eta pantaila-paneletan jartzen dira, dagokien errefrakzio-indizea erabiliz.
Babes-geruza optikoa: laser ispilu eta infragorri leiho bezalako osagai optikoen gainazalean aplikatzen da, urradurarekiko eta korrosioarekiko erresistentea den babes-film gisa.
Ekipamendu optoelektronikoa: OLED pantailen, eguzki-zelulen eta beste gailu batzuen ontziratze-hesi gisa, ura eta oxigenoa sartzea blokeatzen du modu eraginkorrean eta gailuaren bizitza luzatzen du.
Higaduraren aurkako eta babes-estaldura
Tresna Moldearen Estaldura: Al₂O₃ estaldura ebaketa-erremintaren eta estanpazio-trokelen gainazalean metatzen da, higadura-erresistentzia, egonkortasun termikoa eta zerbitzu-bizitza asko hobetuz.
Aeroespaziala eta Automobilgintza: Tenperatura altuko oxidazio eta korrosioarekiko erresistentzia babesten du osagai kritikoentzat, hala nola motorraren osagaientzat eta turbinaren palenentzat.
Gailu biomedikoak: Artikulazio artifizialak, tresna kirurgikoak eta abar bezalako gainazaletarako estaldura funtzionalak, urraduraren, korrosioaren eta gainazal bioinerteen aurkakoak eskainiz.
Beste punta-puntako arlo batzuk
Grabazio magnetikoen biltegiratzea: disko gogorretan erabiltzen da babes-geruza eta buruaren isolamendu-geruza gisa.
Sentsorea: MEMS sentsoreetan geruza isolatzaile edo babesle gisa jokatzen du.
Korrosioaren aurkako babesa: Metalezko substratuetarako (altzairu herdoilgaitza eta aluminiozko aleazioak, adibidez) korrosioaren aurkako babes iraunkorra eskaintzen du.
deskribapena2
