0102030405
CrSi aleaziozko helburua: zehaztapen desberdinetara pertsonalizagarria
Film meheen ezaugarri funtzionalak
Erresistentzia ezaugarri kontrolagarriak: CrSi film meheek erresistentzia tarte zabala dute, eta horrek erresistentzia prestatzeko aukera ematen du konposizioa doitzearen bidez.
Egonkortasun Termiko Handia: Tenperatura altuko inguruneetan (≤800 °C) propietate elektriko egonkorrak mantentzen ditu, tenperatura altuko gailuetarako egokia bihurtuz.
Itsaspen sendoa eta korrosioarekiko erresistentzia: Zeramikazko eta siliziozko substratuekin lotura sendoa, eta ingurumeneko korrosio azido eta oxidatiboaren aurrean erresistentzia.
Sputtering errendimendu eraginkorra
Sputtering errendimendu eraginkorra
Aleazio-egitura uniformea: dentsitate handiak eta porositate txikiak sputtering-filmaren konposizio uniforme eta koherentea bermatzen dute.
Ihinztadura-akats txikiak: Purutasun handiak (≥% 99,9) eta ezpurutasun-eduki txikiak (oxigeno-edukia ≤600 ppm) film-formazioko akatsak murrizten dituzte.
Kristalizazio-kontrolerako gaitasun ona: film mehearen egitura kristalino/morfoa prozesu-parametroen bidez doi daiteke aplikazio-beharretara egokitzeko.
Eskulanaren eta Integrazioaren Bateragarritasuna
Eskulanaren eta Integrazioaren Bateragarritasuna
Tenperatura baxuko film-deposizio gaitasuna: ≤200 °C-tan depositu daiteke, tenperaturarekiko sentikorrak diren siliziozko erdieroaleen prozesuekin bateragarria.
Grabatu eta grafikoetarako egokia: Grabatu prozesu lehor/hezeekin bateragarria, mikromekanizaziorako zehaztasun grafiko handiarekin.
Erdieroaleen prozesuekin bateragarria: elementu kutsatzailerik gabe (adibidez, sodioa, potasioa), zirkuitu integratuen fabrikazioaren eskakizunak betetzen ditu.
deskribapena2
Erdieroaleak eta Mikroelektronika
Film meheko erresistentzia materialak: Zehaztasun handiko film meheko erresistentzietan erabiltzen dira (adibidez, txip erresistentziak, zirkuitu integratuko karga erresistentziak) tenperatura koefiziente (TCR) egonkorra emateko.
Difusio-hesia: Kobrezko interkonexio-egituretan kobrezko difusioa kentzen du gailuaren fidagarritasuna hobetzeko.
Fase-aldaketaren memoria: Ge-Sb-Te serieko fase-aldaketaren memoriaren elektrodoen kontaktu-geruza gisa.
Sentsoreak eta gailu funtzionalak
Tenperatura sentsoreak: CrSi film meheak sentikortasun handiko tenperatura sentsoreak prestatzeko erabiltzen dira (adibidez, automobilgintzako elektronika, industriako tenperatura kontrol sistemak).
Tentsio-sentsore geruza: MEMS gailuetan material piezoerresistibo gisa erabiltzen da tentsio mekanikoaren seinalearen bihurketa lortzeko.
Fotodetektagailua: Infragorri detektagailuetan erabiltzen den kontaktu-elektrodoa eta seinale-transmisio geruza.
Energia Berria eta Teknologia Optikoa
Eguzki-zelulen elektrodoak: Geruza meheko eguzki-zelulen atzeko kontaktu-geruza edo oxido eroale garden (TCO) euskarri-geruza gisa jokatzen dute.
Optikoki Kontrolatutako Filma: Infragorri optikarako geruza islatzaile edo xurgapen erregulatzaile gisa erabiltzen da.
Grabaketa-buru magnetikoaren materiala: disko gogorreko buruan berunezko edo babes-material gisa erabiltzen da.
Oblea mailako ontziratzea: U-Chip eta TSV bezalako ontziratze-teknologia aurreratuetarako erresistentzia eta isolamendu-geruzetarako erabiltzen da.
deskribapena2
