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Cible en alumine : utilisée dans de nombreux secteurs de fabrication de pointe
Propriétés cinématographiques
Isolation élevée : Le film d'alumine préparé possède une résistivité extrêmement élevée (>10¹⁴ Ω·cm) et une rigidité diélectrique (~10 MV/cm), ce qui en fait un matériau idéal pour les couches d'isolation et diélectriques.
Dureté et résistance à l'usure élevées : La dureté extrêmement élevée du film (9 sur l'échelle de Mohs, juste après le diamant) peut améliorer considérablement la résistance aux rayures et à l'usure de la surface de l'appareil.
Excellente stabilité chimique : Extrêmement résistant à la plupart des acides, des alcalis et des solvants, avec une excellente résistance à la corrosion et une grande stabilité à haute température.
Propriétés de pulvérisation et de formation de films
Haute pureté et constance : une pureté ultra-élevée (≥99,9 %) et un contrôle strict de la composition garantissent des performances stables du film et évitent les défauts électriques ou optiques causés par l'introduction d'impuretés.
Formation de film dense et uniforme : Une densité cible élevée (≥3,6 g/cm³) et une taille de grain uniforme permettent un dépôt de film de haute qualité avec peu de défauts et une bonne uniformité d'épaisseur (inhomogénéité ≤5%).
Stabilité du procédé : La structure céramique est stable, ne présente pas de risque de fissuration ou de perte de poudre lors d’une pulvérisation cathodique de longue durée et possède une longue durée de vie.
Excellente stabilité thermique : Le point de fusion est extrêmement élevé (2054°C) et les films préparés peuvent fonctionner dans des environnements à haute température sans dégradation.
Compatibilité gazeuse étendue : Pulvérisation cathodique dans un gaz inerte (Ar), un gaz réactif (O₂) ou un environnement gazeux mixte avec une large fenêtre de processus.
Bonne adhérence : Bonne adhérence à une large gamme de substrats (plaquettes de silicium, verre, métaux, etc.) et peut être utilisé comme couche fonctionnelle ou protectrice.
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Semiconducteurs et microélectronique
Couche diélectrique de grille : sert de couche d’isolation de grille pour les dispositifs MOSFET ou est utilisée dans les structures d’empilement de grilles métalliques/média à haute permittivité.
Couche de passivation du circuit intégré : un film d'Al₂O₃ est déposé sur la surface de la puce pour protéger le circuit interne de la vapeur d'eau et de la contamination ionique dans l'environnement.
Diélectrique pour condensateurs à film mince : utilisé pour la fabrication de condensateurs MIM (métal-isolant-métal) haute capacité et haute stabilité.
Optique et optoélectronique
Revêtements antireflets : Des films antireflets simples ou multiples sont déposés sur les verres, les objectifs d’appareils photo et les panneaux d’affichage en utilisant leur indice de réfraction approprié.
Couche de protection optique : Appliquée sur la surface de composants optiques tels que les miroirs laser et les fenêtres infrarouges, elle forme un film protecteur résistant à l’abrasion et à la corrosion.
Équipements optoélectroniques : Utilisé comme barrière d’emballage pour les écrans OLED, les cellules solaires et autres dispositifs, il bloque efficacement la pénétration de l’eau et de l’oxygène et prolonge la durée de vie du dispositif.
Revêtement résistant à l'usure et protecteur
Revêtement de moule d'outil : Un revêtement Al₂O₃ est déposé sur la surface des outils de coupe et des matrices d'estampage, améliorant considérablement leur résistance à l'usure, leur stabilité thermique et leur durée de vie.
Aérospatiale et automobile : Offre une protection contre l’oxydation et la corrosion à haute température pour des composants critiques tels que les composants de moteurs et les aubes de turbines.
Dispositifs biomédicaux : revêtements fonctionnels pour des surfaces telles que les articulations artificielles, les instruments chirurgicaux, etc., offrant des surfaces résistantes à l’abrasion, à la corrosion et bio-inertes.
Autres domaines de pointe
Support de stockage à enregistrement magnétique : utilisé dans les disques durs comme couche protectrice et isolante pour la tête de lecture/écriture.
Capteur : Agit comme une couche isolante ou protectrice dans les capteurs MEMS.
Protection contre la corrosion : Offre une protection anticorrosion durable pour les substrats métalliques (tels que l'acier inoxydable et les alliages d'aluminium).
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