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Cible en chrome de haute pureté de 300 mm pour applications de précision
Caractéristiques
Propriétés cinématographiques
Forte adhérence : Le film de chrome présente une forte adhérence aux substrats en verre, en métal et en polymère, ce qui en fait un matériau idéal pour les couches d'adhérence.
Dureté et résistance à l'usure : La dureté du film peut atteindre 800 à 1000 HV, ce qui améliore considérablement la résistance aux rayures de la surface de l'appareil.
Résistance à la corrosion : stable en milieu humide, en brouillard salin et en milieu acide, largement utilisée dans les revêtements protecteurs ;
Performances de pulvérisation efficaces
Taux de pulvérisation élevé : une densité élevée (≥7,2 g/cm³) et une faible teneur en oxygène (≤500 ppm) améliorent l'efficacité du dépôt ;
Formation d'un film uniforme et dense : la taille des grains est petite (≤30μm) et l'épaisseur du film est répartie de manière inégale ≤5%, ce qui convient au revêtement de grands substrats ;
Faibles défauts particulaires : une pureté ultra-élevée (≥99,95 %) réduit la contamination particulaire pendant la pulvérisation.
Compatibilité de la chimie et de la technologie
Résistance à l'oxydation : forme une couche de passivation dense de Cr₂O₃ dans l'air pour protéger le matériau sous-jacent ;
Capacité de dépôt à basse température : peut former un film à une température basse de ≤150°C, compatible avec des substrats thermosensibles tels que les plastiques ;
Excellentes caractéristiques de gravure : sélectivité élevée avec la gravure de la résine photosensible, processus graphique simple ;
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Application
Technologie des semi-conducteurs et des écrans
Couche métallisée : utilisée comme couche barrière de diffusion pour l'interconnexion du cuivre (telle qu'une pile Cu/Cr) afin d'inhiber la migration des atomes de cuivre ;
Panneau d'affichage : revêtement de la ligne de grille/signal dans TFT-LCD pour améliorer la conductivité et l'adhérence ;
Photomask : Un film de chrome est utilisé comme couche bloquant la lumière du masque de photorésine, et la précision graphique atteint le niveau submicronique.
Revêtements fonctionnels et protecteurs
Revêtement résistant à l'usure : placage au chrome sur la surface des outils et des moules pour prolonger leur durée de vie (par exemple, les moules d'injection, les outils de coupe) ;
Placage anticorrosion : protection de surface des pièces automobiles et navales, remplaçant le chromage électrolytique traditionnel ;
Aérospatiale : Revêtement résistant à l'oxydation à haute température pour les composants de moteurs (température de fonctionnement ≤ 700 °C) ;
Optique et décoration
Revêtement optique : la couche inférieure du film antireflet des objectifs d’appareil photo et des objectifs AR (pour améliorer l’adhérence de la couche de film) ;
Placage décoratif : décoration de surface de bijoux et d’accessoires de salle de bains (chrome mat, chrome brillant et autres effets diversifiés) ;
Cellules solaires : matériaux d’électrode arrière pour cellules solaires à couches minces (telles que les cellules CIGS) ;
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