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Billes de broyage en SiC : composants essentiels pour de nombreuses applications industrielles
propriétés mécaniques
Stabilité environnementale extrême
Dureté et résistance à l'usure ultra-élevées : La dureté Mohs est ≥ 9,5, juste derrière le diamant, nettement supérieure à celle des métaux et des céramiques d'oxyde (comme la zircone et l'alumine), et le taux d'usure est extrêmement faible dans des conditions de frottement extrêmes.
Haute résistance à la compression : Il peut supporter une contrainte de compression supérieure à 2,5 GPa et ne se déforme pas ou ne se brise pas facilement dans des environnements à haute vitesse et à haute pression.
Stabilité environnementale extrême
Résistance aux hautes températures : supporte des températures supérieures à 1600 °C en atmosphère inerte et reste stable jusqu'à 1400 °C en atmosphère oxydante, surpassant largement les matériaux de roulement métalliques.
Inertie chimique : résistante aux acides forts (sauf l'acide fluorhydrique), aux alcalis forts, aux métaux en fusion et aux milieux hautement corrosifs, et sa durée de vie est plus de 10 fois supérieure à celle des billes en acier inoxydable.
Excellente uniformité de température dans le plan : un transfert de chaleur efficace, combiné à des conceptions telles que le refroidissement dorsal à l'hélium, garantit que l'uniformité de la température de surface de la plaquette répond aux exigences des procédés avancés.
Électromagnétisme et propriétés particulières
Caractéristiques des semi-conducteurs : Les types conducteurs/isolants peuvent être personnalisés pour répondre aux besoins des scénarios sensibles à l’électricité statique.
Résistance aux radiations : Résistant à l'irradiation par particules de haute énergie, convient à l'industrie nucléaire et aux équipements spatiaux.
Équipements industriels de haute technologie
Semiconducteurs et fabrication de précision
Appliqué aux articulations sphériques des bras robotiques sous vide, aux billes d'entraînement des équipements PVD/CVD et aux billes des rails de guidage de transfert de plaquettes, tirant parti de l'inertie chimique et des caractéristiques de résistance à l'érosion par plasma, assure une faible libération de particules (rugosité de surface Ra ≤ 0,01 μm) dans des conditions ultra-propres et résout les problèmes de contamination des couches minces et de défaillance de la précision de transmission dans la fabrication des semi-conducteurs ;
Dans des applications telles que les noyaux à bille de soupape de pompe résistants à la corrosion et les billes d'étanchéité de piles à combustible, il résiste à la corrosion due aux acides/bases forts/milieux à haute température, éliminant complètement le risque de défaillance d'étanchéité dans les équipements chimiques et énergétiques.
Les sphères en SiC remplacent les billes métalliques dans les roulements de broches à grande vitesse, les roulements de pompes turbomoléculaires et les guides d'instruments de précision, et augmentent la durée de vie des composants de 3 à 5 fois grâce à une dureté ultra-élevée (dureté Mohs ≥ 9,5) et une résistance aux hautes températures (> 1600 °C), permettant un fonctionnement sans entretien dans des environnements à haute température/sous vide.
En même temps, en tant que milieu de broyage pour les matériaux à haute dureté (tels que le carbure de tungstène et le saphir), son taux d'usure n'est que de 1/5 de celui des billes de zircone, ce qui améliore considérablement l'efficacité et la précision du traitement.
En même temps, en tant que milieu de broyage pour les matériaux à haute dureté (tels que le carbure de tungstène et le saphir), son taux d'usure n'est que de 1/5 de celui des billes de zircone, ce qui améliore considérablement l'efficacité et la précision du traitement.
Appliqué aux articulations sphériques des bras robotiques sous vide, aux billes d'entraînement des équipements PVD/CVD et aux billes des rails de guidage de transfert de plaquettes, tirant parti de l'inertie chimique et des caractéristiques de résistance à l'érosion par plasma, assure une faible libération de particules (rugosité de surface Ra ≤ 0,01 μm) dans des conditions ultra-propres et résout les problèmes de contamination des couches minces et de défaillance de la précision de transmission dans la fabrication des semi-conducteurs ;
Dans des applications telles que les noyaux à bille de soupape de pompe résistants à la corrosion et les billes d'étanchéité de piles à combustible, il résiste à la corrosion due aux acides/bases forts/milieux à haute température, éliminant complètement le risque de défaillance d'étanchéité dans les équipements chimiques et énergétiques.