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Target Cr da 300 mm ad alta purezza per applicazioni di precisione
Caratteristiche
Proprietà del film
Forte adesione: la pellicola di cromo ha un forte legame con substrati di vetro, metallo e polimeri, il che la rende un materiale ideale per lo strato di adesione.
Durezza e resistenza all'usura: la durezza della pellicola può raggiungere 800-1000 HV, il che migliora notevolmente la resistenza ai graffi della superficie del dispositivo.
Resistenza alla corrosione: stabile in ambienti umidi, con nebbia salina e acidi, ampiamente utilizzato nei rivestimenti protettivi;
Prestazioni di sputtering efficienti
Elevata velocità di sputtering: elevata densità (≥7,2 g/cm³) e basso contenuto di ossigeno (≤500 ppm) migliorano l'efficienza di deposizione;
Formazione di un film uniforme e denso: la granulometria è piccola (≤30μm) e lo spessore del film è distribuito in modo non uniforme ≤5%, il che è adatto per rivestire substrati di grandi dimensioni;
Difetti di particelle ridotti: l'altissima purezza (≥99,95%) riduce la contaminazione da particelle durante lo sputtering.
Compatibilità tra chimica e tecnologia
Resistenza all'ossidazione: forma uno strato denso di passivazione Cr₂O₃ nell'aria per proteggere il materiale sottostante;
Capacità di deposizione a bassa temperatura: può formare una pellicola a una bassa temperatura di ≤150°C, compatibile con substrati sensibili al calore come la plastica;
Eccellenti caratteristiche di incisione: elevata selettività con incisione fotoresistente, processo grafico semplice;
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Applicazione
Tecnologia dei semiconduttori e dei display
Strato metallizzato: utilizzato come strato barriera alla diffusione per l'interconnessione in rame (ad esempio la pila Cu/Cr) per inibire la migrazione degli atomi di rame;
Pannello di visualizzazione: rivestimento della linea di gate/segnale in TFT-LCD per migliorare la conduttività e l'adesione;
Fotomaschera: la pellicola di cromo viene utilizzata come strato di blocco della luce della maschera fotoresistente e la precisione grafica raggiunge il livello sub-micron.
Rivestimenti funzionali e protettivi
Rivestimento resistente all'usura: placcatura in cromo sulla superficie di utensili e stampi per prolungarne la durata (ad esempio stampi a iniezione, utensili da taglio);
Rivestimento anticorrosione: protezione superficiale di componenti di automobili e navi, in sostituzione della tradizionale cromatura galvanica;
Aerospaziale: Rivestimento resistente all'ossidazione ad alta temperatura per componenti del motore (temperatura di esercizio ≤ 700°C);
Ottica e decorazione
Rivestimento ottico: lo strato inferiore della pellicola antiriflesso degli obiettivi delle fotocamere e delle lenti AR (per migliorare l'adesione dello strato di pellicola);
Placcatura decorativa: decorazione superficiale di gioielli e accessori per il bagno (cromatura opaca, cromatura lucida e altri effetti diversificati);
Celle solari: materiali dell'elettrodo posteriore per celle solari a film sottile (come le celle CIGS);
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