鉬靶:專用於濺鍍膜
高溫穩定性和機械性能
超高熔點:2623°C,可在高溫濺鍍環境(300~800°C)中保持結構穩定性,具有很強的抗熱變形能力;
高溫強度:在高溫下仍保持較高的硬度和抗蠕變性,確保目標材料在長期加工過程中不會開裂或變形;
熱膨脹係數(4.8×10⁻⁶/K):與矽和玻璃基板具有良好的熱相容性,可減少薄膜熱應力引起的分層或開裂;
導電性和熱管理性能
高導電性:提高濺鍍效率並降低製程能耗;
高導熱性:快速傳導濺射熱量,防止局部過熱導致靶材開裂或液滴飛濺,並確保薄膜層的均勻性;
薄膜沉積特性
濺鍍速率低:需高功率激發,但沉積膜層緻密,黏附力強;
高密度:減少濺鍍過程中的孔隙和缺陷,提高薄膜純度和緻密性;
可控晶粒尺寸:透過製程優化實現細晶粒結構,減少濺鍍顆粒,改善薄膜層表面光潔度;
化學穩定性和多功能性
化學穩定性和多功能性
耐腐蝕性:耐大多數酸、鹼和製程氣體(如 O₂、N₂),適用於反應濺鍍(如沉積 MoO₃、MoN);
氧親和力低:高溫下不易氧化,維持高純度金屬膜的特性(需控制腔體內的氧含量);
描述2
半導體製造和平面顯示器
互連和閘極材料:用於沉積 Mo/MoN 阻擋層;
接觸層:作為OLED顯示器TFT背板中的源/漏電極;
TFT陣列電極:沉積Mo/Al/Mo堆疊結構;
透明導電薄膜(TCO)支撐層:鈣鈦礦太陽能電池的鉬背電極;
新能源和光學元件
薄膜太陽能電池:CIGS(銅銦鎵硒)電池的背電極材料;
紅外線鏡:利用鉬的高紅外線反射率製成的光學元件。
紅外線鏡:利用鉬的高紅外線反射率製成的光學元件。
描述2





