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用於精密應用的高純度 300mm 鉻靶

鉻靶材與金屬鉻 (Cr) 具有相同的性質。鉻靶材是一種鋼灰色、有光澤、堅硬但易碎的過渡金屬。在真空中,鉻靶材可產生相對穩定的鉻離子束,因此可用於製備基材或表面塗層,以保護基材或製造需要高抗氧化性的工業零件。鉻靶材也可用於製備鉻化合物的化學計量學樣品。

    特徵

    電影特性

    強黏合力:鉻薄膜與玻璃、金屬和聚合物基材具有很強的黏合力,使其成為理想的黏合層材料。

    硬度和耐磨性:薄膜硬度可達 800-1000 HV,顯著提高了裝置表面的抗刮性。

    耐腐蝕性:在潮濕、鹽霧和酸性環境中穩定,廣泛用於防護塗料;

    高效率的濺鍍性能

    高濺鍍率:高密度(≥7.2 g/cm³)和低氧含量(≤500 ppm)可提高沉積效率;

    成膜均勻緻密:晶粒尺寸小(≤30μm),膜厚分佈不均勻≤5%,適合塗覆大面積基材;

    低顆粒缺陷:超高純度(≥99.95%)減少了濺鍍過程中的顆粒污染。

    化學與科技的兼容性

    抗氧化性:在空氣中形成緻密的Cr₂O₃鈍化層,保護底層材料;

    低溫沉積能力:可在≤150°C的低溫下形成薄膜,與塑膠等熱敏基材相容;

    優異的蝕刻特性:對光阻蝕刻具有高選擇性,圖形製程簡單;

    描述2

    應用

    半導體和顯示技術

    金屬化層:用作銅互連(如 Cu/Cr 疊層)的擴散阻擋層,以抑制銅原子遷移;

    顯示面板:TFT-LCD中的閘極/訊號線塗層,以提高導電性和附著力;

    光掩模:採用鉻薄膜作為光阻遮罩的遮光層,圖形精度達到亞微米等級。

    功能性和保護性塗層

    耐磨塗層:在工具和模具表面鍍鉻,以延長使用壽命(如注塑模具、切割刀具等);

    防腐電鍍:用於汽車零件和船舶零件的表面保護,取代傳統的電鍍鉻製程;

    航太:引擎零件用耐高溫氧化塗層(工作溫度≤700℃);

    光學與裝飾

    光學鍍膜:相機鏡頭和 AR 鏡頭的防反射膜底層(用於增強膜層的附著力);

    裝飾電鍍:珠寶和衛浴五金的表面裝飾(霧鉻、亮光鉻等多種效果);

    太陽能電池:薄膜太陽能電池(如CIGS電池)的背電極材料;

    描述2

    鉻靶

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