用于精密应用的高纯度 300mm 铬靶
特征
电影特性
强粘合力：铬膜与玻璃、金属和聚合物基材具有很强的粘合力，使其成为理想的粘合层材料。
硬度和耐磨性：薄膜硬度可达 800-1000 HV，显著提高了器件表面的抗刮擦性。
耐腐蚀性：在潮湿、盐雾和酸性环境中稳定，广泛用于防护涂料；
高效的溅射性能
高溅射率：高密度（≥7.2 g/cm³）和低氧含量（≤500 ppm）可提高沉积效率；
成膜均匀致密：晶粒尺寸小（≤30μm），膜厚分布不均匀≤5%，适合涂覆大面积基材；
低颗粒缺陷：超高纯度（≥99.95%）减少了溅射过程中的颗粒污染。
化学与技术的兼容性
抗氧化性：在空气中形成致密的Cr₂O₃钝化层，以保护底层材料；
低温沉积能力：可在≤150°C的低温下形成薄膜，与塑料等热敏基材兼容；
优异的蚀刻特性：对光刻胶蚀刻具有高选择性，图形工艺简单；
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应用
半导体和显示技术
金属化层：用作铜互连（如 Cu/Cr 叠层）的扩散阻挡层，以抑制铜原子迁移；
显示面板：TFT-LCD中的栅极/信号线涂层，以提高导电性和附着力；
光掩模：采用铬膜作为光刻胶掩模的遮光层，图形精度达到亚微米级。
功能性和保护性涂层
耐磨涂层：在工具和模具表面镀铬，以延长使用寿命（如注塑模具、切削刀具等）；
防腐电镀：用于汽车零部件和船舶零部件的表面保护，取代传统的电镀铬工艺；
航空航天：发动机部件用耐高温氧化涂层（工作温度≤700℃）；
光学与装饰
光学镀膜：相机镜头和 AR 镜头的防反射膜底层（用于增强膜层的附着力）；
装饰电镀：珠宝和卫浴五金的表面装饰（哑光铬、亮光铬等多种效果）；
太阳能电池：薄膜太阳能电池（如CIGS电池）的背电极材料；
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