氧化锌靶材：优异的薄膜性能

薄膜特性

高透光率和导电性：在可见光范围内具有高透光率，电阻率可通过掺杂进一步降低，适用于透明电极。

结晶度：可以制备具有 c 轴择优取向的高质量薄膜，这有利于压电和光电性能。

低温成膜能力：可在较低温度（甚至室温）下沉积，适用于柔性基板和温度敏感器件。

溅射性能

高溅射速率和稳定性：高密度和高纯度保证了稳定的溅射过程和较高的成膜速率。

均匀性和一致性：细小均匀的颗粒（通常≤10μm）能够在大面积上形成均匀的薄膜。

缺陷和污染少：微观结构致密，溅射过程中产生的颗粒较少，有利于提高器件良率。

化学与功能多样性

掺杂灵活性：可通过掺杂 Al 和 Ga 等元素来调节电性能，从而实现 n 型导电性。

压电和热电特性：它具有良好的压电系数和热电响应，使其适用于传感器和能量收集装置。

化学稳定性：在室温下化学性质稳定，耐湿、耐氧化，适用于各种工艺环境。

光电子和显示技术

透明导电薄膜：用作触摸屏、液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）等的透明电极（作为ITO的替代品）。

太阳能电池：用作薄膜太阳能电池（如 CIGS 和钙钛矿电池）中的窗口层或缓冲层。

传感器和压电装置

气体传感器：对各种气体（如 H₂、NO₂、乙醇等）有灵敏的响应，用于环境监测和安全检测。

压电传感器和声波器件：用于表面声波 (SAW) 滤波器和微机电系统 (MEMS) 中的压电层。

半导体和光电器件

紫外光电探测器：利用其宽带隙特性，用于紫外光探测和成像。

发光器件：可用于紫外LED和激光结构的功能层。