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Hochreines 300-mm-Cr-Target für Präzisionsanwendungen
Eigenschaften
Filmeigenschaften
Starke Haftung: Der Chromfilm weist eine starke Bindung mit Glas-, Metall- und Polymersubstraten auf und ist somit ein ideales Haftschichtmaterial.
Härte und Verschleißfestigkeit: Die Härte des Films kann 800-1000 HV erreichen, was die Kratzfestigkeit der Geräteoberfläche deutlich verbessert.
Korrosionsbeständigkeit: stabil in feuchter, salzhaltiger und saurer Umgebung, weit verbreitet in Schutzbeschichtungen;
Effiziente Sputterleistung
Hohe Sputterrate: Hohe Dichte (≥7,2 g/cm³) und niedriger Sauerstoffgehalt (≤500 ppm) verbessern die Abscheidungseffizienz;
Gleichmäßige und dichte Filmbildung: Die Korngröße ist klein (≤30μm) und die Filmdicke ist ungleichmäßig verteilt (≤5%), wodurch sie sich für die Beschichtung großer Substrate eignet;
Geringe Partikeldefekte: Ultrahohe Reinheit (≥99,95%) reduziert die Partikelverunreinigung beim Sputtern.
Kompatibilität von Chemie und Technologie
Oxidationsbeständigkeit: Bildet in der Luft eine dichte Cr₂O₃-Passivierungsschicht zum Schutz des darunterliegenden Materials;
Niedrigtemperatur-Abscheidungsfähigkeit: Kann bei einer niedrigen Temperatur von ≤150°C einen Film bilden, der mit wärmeempfindlichen Substraten wie Kunststoffen kompatibel ist;
Ausgezeichnete Ätzeigenschaften: hohe Selektivität beim Ätzen von Fotolack, einfacher grafischer Prozess;
Beschreibung2
Anwendung
Halbleiter- und Displaytechnologie
Metallisierte Schicht: wird als Diffusionsbarriereschicht für Kupferverbindungen (z. B. Cu/Cr-Schichtsysteme) verwendet, um die Migration von Kupferatomen zu verhindern;
Anzeigefeld: Beschichtung der Gate-/Signalleitungen in TFT-LCDs zur Verbesserung der Leitfähigkeit und Haftung;
Fotomaske: Als lichtundurchlässige Schicht der Fotolackmaske wird eine Chromschicht verwendet, wodurch eine grafische Genauigkeit im Submikrometerbereich erreicht wird.
Funktionelle und schützende Beschichtungen
Verschleißfeste Beschichtung: Chromplattierung der Oberfläche von Werkzeugen und Formen zur Verlängerung der Lebensdauer (z. B. Spritzgussformen, Schneidwerkzeuge);
Korrosionsschutzbeschichtung: Oberflächenschutz von Autoteilen und Schiffsteilen, als Ersatz für die herkömmliche galvanische Verchromung;
Luft- und Raumfahrt: Hochtemperatur-Oxidationsbeständige Beschichtung für Triebwerkskomponenten (Betriebstemperatur ≤ 700°C);
Optik und Dekoration
Optische Beschichtung: die unterste Schicht der Antireflexionsfolie von Kameraobjektiven und AR-Linsen (zur Verbesserung der Haftung der Folienschicht);
Dekorative Beschichtung: Oberflächenveredelung von Schmuck und Badezimmerarmaturen (mattes Chrom, glänzendes Chrom und andere diverse Effekte);
Solarzellen: Rückelektrodenmaterialien für Dünnschichtsolarzellen (wie z. B. CIGS-Zellen);
Beschreibung2
