Zinkoxid-Target: ausgezeichnete Dünnschichteigenschaften

Dünnschichteigenschaften

Hohe Lichtdurchlässigkeit und Leitfähigkeit: Hohe Lichtdurchlässigkeit im sichtbaren Lichtbereich, wobei der spezifische Widerstand durch Dotierung weiter reduziert werden kann; geeignet für transparente Elektroden.

Kristallinität: Es können hochwertige Filme mit bevorzugter c-Achsen-Orientierung hergestellt werden, was für die piezoelektrische und optoelektrische Leistung von Vorteil ist.

Filmbildungsfähigkeit bei niedrigen Temperaturen: Kann bei niedrigeren Temperaturen (sogar bei Raumtemperatur) abgeschieden werden, geeignet für flexible Substrate und temperaturempfindliche Bauelemente.

Sputterleistung

Hohe Sputterrate und Stabilität: Hohe Dichte und hohe Reinheit gewährleisten einen stabilen Sputterprozess mit hoher Filmbildungsrate.

Gleichmäßigkeit und Konsistenz: Feine und gleichmäßige Körner (üblicherweise ≤10μm) ermöglichen eine gleichmäßige Filmbildung über große Flächen.

Geringe Defekte und Verunreinigungen: Die Mikrostruktur ist dicht, und es entstehen weniger Partikel während des Sputterprozesses, was sich positiv auf die Geräteausbeute auswirkt.

Chemie und funktionelle Vielfalt

Flexibilität bei der Dotierung: Die elektrischen Eigenschaften können durch Dotierung mit Elementen wie Al und Ga reguliert werden, um eine n-Typ-Leitfähigkeit zu erreichen.

Piezoelektrische und thermoelektrische Eigenschaften: Es besitzt gute piezoelektrische Koeffizienten und thermoelektrische Reaktionen und eignet sich daher für Sensoren und Energiegewinnungsgeräte.

Chemische Stabilität: Chemisch stabil bei Raumtemperatur, beständig gegen Feuchtigkeit und Oxidation, geeignet für verschiedene Prozessumgebungen.

Optoelektronik und Displaytechnologie

Transparente leitfähige Folien: Werden als transparente Elektroden in Touchscreens, Flüssigkristallanzeigen (LCDs), organischen Leuchtdioden (OLEDs) usw. verwendet (als Ersatz für ITO).

Solarzellen: Sie dienen als Fensterschichten oder Pufferschichten in Dünnschichtsolarzellen (wie CIGS- und Perowskitzellen).

Sensoren und piezoelektrische Bauelemente

Gassensoren: Empfindliche Reaktion auf verschiedene Gase (wie H₂, NO₂, Ethanol usw.), die zur Umweltüberwachung und Sicherheitserkennung eingesetzt werden.

Piezoelektrische Sensoren und akustische Wellenbauelemente: Werden in Oberflächenwellenfiltern (SAW-Filtern) und piezoelektrischen Schichten in mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) eingesetzt.

Halbleiter- und optoelektronische Bauelemente

Ultraviolette Fotodetektoren: Werden aufgrund ihrer großen Bandlückeneigenschaften zur Detektion und Bildgebung von ultraviolettem Licht eingesetzt.

Lichtemittierende Bauelemente: Können in Funktionsschichten von ultravioletten LED- und Laserstrukturen eingesetzt werden.